製品案内

検査測定装置

レーザー走査方式表面形状検査機

検査測定装置
【特 徴】

・レーザ走査式非接触検査
・30×30mmの大面積測定
・振動に強い　防振台不要
 　　　0.52msec/30mmの高速走査

・工場内インライン使用可能

・高感度　0.1nm

・表面粗さ・キズ・微細異物検出可能

 

【対応可能ワーク】

半導体ウエハー，

ハードディスク，

ＬＣＤフラットパネルなど

検査機本体 W550×D600×H600

サンプルデータ

【測定試料】
1.鏡面

2.粗面
　アルミ素管（コピードラム（旋盤加工品））の評価（2D測定）